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射頻(RF)放電型準分子燈外形長而平,在大面積光照范圍內具有照射均勻,輸出穩定的特點。與電暈放電方法,等離子體方法以及其他準分子燈相比,EX-400可確保高度準確,高調整度,高清潔都和高粘接度。
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