從光譜范圍來看，傳統的輻射校準光源，如氘燈、石英窗鹵素鎢燈、長弧氙燈等在光譜測量范圍上都具有非常大的局限性，因為上述光源無法在200 nm-800 nm范圍內保持較高的輸出。另外，傳統光源需要在使用100小時或更短時間后進行重新校準，在使用500小時后還需要更換燈泡。經過一系列不懈的努力，Hamamatsu集團旗下的Energetiq公司革命性地研發出單點激光驅動光源技術，并將其命名為LDLS（Laser Driven Light Source），該類光源不僅可以在170 nm至2100nm的光譜范圍內提供超高發光亮度，而且整個光源的發光壽命相比較于傳統光源也高出了整整一個數量級。
| 產品圖像 | 產品型號 | 產品名稱 | |
產品圖像： |
產品型號：TLS-EQ-77 | 產品名稱：激光驅動可調諧光源 | |
產品圖像： |
產品型號：TLS-EQ-9 | 產品名稱：激光驅動可調諧光源 | |
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產品型號：EQ-10SXR | 產品名稱：無電極 Z-Pinch? 軟X射線 (SXR)光源 | |
產品圖像： |
產品型號：EQ-10HP | 產品名稱：無電極 Z-Pinch? 20 watt EUV 光源 | |
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產品型號：EQ-10HR | 產品名稱：無電極 Z-Pinch? 高脈沖重頻10 kHz EUV 光源 EQ-10HR | |
產品圖像： |
產品型號：EQ-10 | 產品名稱：無電極 Z-Pinch? 10 Watt EUV 光源 | |
產品圖像： |
產品型號：EQ-9 LDLS | 產品名稱：EQ-9 激光驅動光源 | |
產品圖像： |
產品型號：EQ-400 LDLS | 產品名稱：EQ-400 激光驅動光源 | |
產品圖像： |
產品型號：EQ-77 LDLS | 產品名稱：EQ-77 激光驅動光源 | |
產品圖像： |
產品型號：EQ-99X-CAL LDLS | 產品名稱：EQ-99X-CAL 激光驅動光源 |
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